干式螺杆真空泵成为热门应用的原因

2021螺杆真空泵火了，据了解半导体行业应用较为广泛，而干式螺杆真空泵的出现替代了大部分油螺杆真空泵，在制药、医疗器械、半导体行业均有应用。

来看看，干式真空泵应用于半导体行业的优势。

干式真空泵、干式螺杆真空泵应用于半导体优势如下：

1.消除了工艺过程中油污染或油搭载进入尾气处理系统的风险

2.不会产生废物、或者污染宝贵的溶剂、产品或环境


3.完全干燥，对上下游工艺没有任何污染

4.干式螺杆真空泵无任何腐蚀风险

5.吸入的溶剂或其他有用成分可以在泵的出口直接回收

6.干式真空泵工作效率更高、耗电更少

综合上述，干式螺杆真空泵特点明显，半导体生产过程中所需具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒、有毒气体等，干式螺杆真空泵均可解决，因此被广泛应用于半导体行业。