螺杆真空泵是一种专门为工业应用的干式泵，是一种全新的设计，专门用来解决工业应用中真空问题，如粉尘、焦油等。螺杆真空泵采用变螺距转子，有内压缩过程，泵腔内无轴承和密封，大大降低了故障率，泵腔内没有内部阀门，因而耐粉尘和焦油能力强，此泵的螺杆采用内部中空冷却，可以降低转子温度和热变形，螺杆寿命增长。下面台冠真空泵技术团队工程师，给大家详解螺杆真空泵知识.希望能够给大家带来帮助.
台冠螺杆真空泵
螺杆真空泵是利用一对螺杆，经精细动平衡校正，由轴承支撑，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，寿命长，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。在微电子、半导体、制药、石油化工、航空航天、工具、造纸、包装、食品、医疗器械、以及信息工程、生物工程、微电子等100多个领域对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
台冠螺杆真空泵
螺杆真空泵由泵盖、泵体、圆盘，叶轮、机械密封、电动机等零部件组成。进气管排气管通过安装在泵盖上的园盘上的吸气孔和排气孔与泵腔相连，轴偏心地安装在泵体中，叶轮用平键固定在轴上，螺杆真空泵两端面的部间隙由泵体和园盘之间的垫来调整，叶轮与泵盖上的园盘之间的间隙由园盘和泵体之间的垫来调整，叶轮两端面与泵盖上园盘之间间隙决定气体在泵腔内由进气口至排气口流动中损失的大小及其极限压力。 螺杆真空泵的密封采用机械密封，机械密封安装在叶轮和泵体间。由机械密封定出叶轮与泵体之间的间隙。在螺杆真空泵盖上安装有园盘，园盘上设有吸、排气孔和柔性排气阀片，柔性阀片的作用是当叶轮叶片间的气体压力达到排气压力时，在排气口以前就将气体排出，减少了因气体压力过大而消耗的功率、从而降低率消耗。
台冠螺杆真空泵
螺杆真空泵有以下种类
1.内部压缩型螺杆式：
除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平。但在很多工艺中,这种内部压缩同多级泵一样,极易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。
2.三叶圆裂片式：
三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计的原理完全相同,它只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是象双圆裂片式设计分为两份。三叶圆裂片式设计和双圆裂片式设计有着相同的优点和缺点。为了进一步降低耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力下降。同双圆裂片式设计一样,三叶圆裂片式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
台冠螺杆真空泵测试视频图集
3.双圆裂片式：
双圆裂片式设计和目前最流行和广泛应用的罗茨泵非常相似。事实上,一些最早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来。这种多级设计使得气体通路相当复杂,并且每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时,为了达到好的真空度,对各级的间隙有非常严格的要求。当然,干式螺杆真空泵这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低。
4.外部压缩型螺杆式：
在外部压缩型螺杆式设计中,使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到最小,同时使得气体通路最短也最简单。这样,气体在泵体内停留的时间也最短。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高,但在很多复杂的半导体工艺中表现出极高的稳定性。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
5.组合式(罗茨+爪)：
组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其最后一级改为设计,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份,就象三圆裂片式设计可以将其分为三份。同样,在很多工艺中,组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。
螺杆真空系统与其他真空系统的对比
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