螺杆真空泵是容积式真空泵的新成员。它出现在20世纪90年代左右，发展相对较晚。然而，作为一种理想的干式泵，螺杆真空泵自问世以来发展迅速。
螺杆真空泵一般为双螺杆结构。螺杆真空泵是一种通过一对不对称的螺杆转子在泵腔内同步、反向工作，并周期性改变齿间容积的吸、排气设备。
其主要结构包括螺杆转子、轴承、泵体、密封等。经过精细的动平衡校正后，螺杆转子由轴承支撑并安装在泵腔内。螺钉和螺钉之间保持严格的间隙。泵工作时，两者之间无摩擦，运行平稳，噪音低，腔内无需润滑油。因此，螺杆真空泵可以在含有大量蒸汽和少量灰尘的场合泵出气体。它具有极限真空度高、功耗低、节能、免维护等优点。
螺杆真空泵结构相对简单。在形式上，螺杆真空泵可分为卧式和立式；根据螺杆转子的不同外形，可分为单头螺杆真空泵和多头螺杆真空泵；根据转子节距的不同，单头螺杆真空泵可分为等节距螺杆真空泵和变节距螺杆真空泵。可变螺距可细分为一级式、二级式、三级式等。
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